نانولیتوگرافی با استفاده از میکروسکوپ های پروبی روبشی

نانولیتوگرافی با استفاده از میکروسکوپ های پروبی روبشی

نانولیتوگرافی با استفاده از میکروسکوپ های پروبی روبشی

این گزارش که از گردآوری نتایج تحقیقات انجام شده در زمینهی میکروسکوپ های پروبی روبشی) (SPMو نانولیتوگرافی به دست آمده، مت شکل از سه ق سمت، که ق سمت اول معرفی میکرو سکوپها، ق سمت دوم معرفی SPMها ) ، (AFM ,STMنحوه برر سی سـطوح، حالات کاری و قسـمت سـوم به بحث نانولیتوگرافی با اسـتفاده از SPMها ،نحوه تابش لایه محافظ، رسـوب دهی ماده، اچ کردن، ا صلاحات حرارتی، اک سیدا سیون و DPNپرداخته شده ا ست. از مزایای لیتوگرافی با ا ستفاده از SPMها می توان کاهش خطای ثبت ساخت، دمای کار کم، نیاز به تجهیزات کم، ایمنی، ا ستفاده از اکثر عنا صر ناخال صی، هزینه کم ن سبت به روش های دیگر باتوجه به دقت بالا و معایب آن می توان ســـرعت و بازدهی کم، احتمال خطا در طی مدت باتوجه به آســـب پذیر بودن نوک پروب، مجازی بودن تصاویر حاصل از AFMرا می توان برشمرد .
کلید واژه: میکروسکوپهای پروب روبشی، نانولیتوگرافی،

توجه: به دلیل وارد شدن این متن از فایل pdf ممکن است جمله بندی و علائم نگارشی به هم ریخته باشد. ولی در نسخه اصلی همه چیز مرتب و منظم می باشد.

این فایل پی دی اف در 13 صفحه به خدمتتون ارائه میشود.